Projekte

Folgende Projekte wurden mit verschiedenen Industriepartnern und teils als geförderte Forschungsprojekte realisiert:

  • Realtime-Fehler-Kompensations-System zur Herstellung von Präzisions-Optiken.Dabei werden in Realtime Positionsabweichungen der Maschinen-Hauptachse während der Optikherstellung messtechnisch erfasst und mittels Piezoaktorik und Regelungstechnik kompensiert. Die erzielte Fehler-Kompensationsgenauigkeit betrug wenige 10 nm.
  • Zwei-Achsen-Schwingungsprüfstand für Prüfmassen bis 200 kg mit einem Frequenzbereich von 0 Hz bis 100 Hz und einer Maximalhub von 2 mm. Als Aktoren wurden selbst entwickelte Leistungs-Voice-Coils verwendet. Und alle Bewegungen werden regelungstechnisch erzeugt und überwacht.
  • Sechs-Achsen Schwingungsprüfstand für Prüfmassen bis 2 t mit einem Frequenzbereich von 0 Hz bis 100 Hz und einer Maximalhub von 1 mm. Als Aktoren wurden selbst entwickelte Leistungs-Piezo-Einheiten (jede dreiachsig, insgesamt vier Einheiten) verwendet. Und alle Bewegungen werden regelungstechnisch erzeugt und überwacht.
  • Entwicklung und Aufbau einer Ultra-Präzisions-Geradheits-Messmaschine mit einer Messlänge bis 2 m. Dieses Projekt wurde zusammen mit einem Industriepartner als gefördertes ZIM-Projekt realisiert. Die antragsgemäß spezifizierte absolute Genauigkeit soll 50 nm nicht überschreiten.Mittels der entstanden Prototypmaschine, welche eine Messlänge von 0,5 m hat, konnte die angestrebte absolute Messgenauigkeit von maximal 50 nm bestätigt werden. So kann ein sogn. Referenzlineal mit 0,5 m Länge bis auf eine 1/1000 Haaresbreite genau auf Geradheit überprüft werden.